作者:黄美发 单位:桂林电子科技大学 出版:《桂林电子科技大学学报》1998年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGLDZ801.0130 DOC编号:DOCGLDZ801.0139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 纳米科学技术是具有广阔应用前景的面向21世纪的一门新技术,广泛涉及到材料学、机械学、电子学等各个领域。通过介绍纳米科学技术的特点及其在现代微传感器上的应用现状的同时,重点分析国外几种典型现代微传感器的结构方案和工作原理,并对现代微传感器的几种制作技术及工艺作了比较详细的分析。

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