《纳米技术与现代传感器》PDF+DOC
作者:黄美发
单位:桂林电子科技大学
出版:《桂林电子科技大学学报》1998年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGLDZ801.0130
DOC编号:DOCGLDZ801.0139
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纳米科学技术是具有广阔应用前景的面向21世纪的一门新技术,广泛涉及到材料学、机械学、电子学等各个领域。通过介绍纳米科学技术的特点及其在现代微传感器上的应用现状的同时,重点分析国外几种典型现代微传感器的结构方案和工作原理,并对现代微传感器的几种制作技术及工艺作了比较详细的分析。
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