《改进工艺手段提高色敏传感器蓝、紫光特性》PDF+DOC
作者:朱健
单位:南京电子技术研究所
出版:《电子机械工程》1998年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZJX1998040110
DOC编号:DOCDZJX1998040119
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本文论述了通过浅硼扩散、氧化退火处理、磷扩散、控制光刻工艺的套刻精度等工艺手段研制成功的光电二极管,其在蓝、紫光方面的光电特性具有明显的优越性。
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