作者：梁天波 单位：机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会 出版：《中国仪器仪表》1998年第04期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZYQB804.0060 DOC编号：DOCZYQB804.0069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《新型不锈钢隔离膜压力传感器》PDF+DOC1998年第08期 《带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器》PDF+DOC1998年第01期 刘永刚,李兵,穆建军 《日本基于MEMS传感器的研究进展》PDF+DOC2004年第01期 焦正,吴明红 《微电子机械系统计算机辅助设计》PDF+DOC1999年第10期 黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇 《千帆竞漂的传感器市场》PDF+DOC1996年第06期 王莹 《医用压力传感器芯片制作》PDF+DOC1992年第02期 夏龙,周泓,汪文仙,王峰,周俊青 《SIMOX——一种适用于高温硅传感器的工艺技术》PDF+DOC1991年第05期 孟涛 《微机电压力传感器的产业化问题》PDF+DOC2002年第09期 赵志诚 《传统半导体厂商对MEMS的思考》PDF+DOC2007年第03期 颜重光 《表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器》PDF+DOC2014年第02期 张艳敏,王权,李昕欣

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