作者：王晓晔,薛实福,李庆祥,徐毓娴,白立芬,于水 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》1998年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM801.0060 DOC编号：DOCGXJM801.0069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并计算了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一种优化结构，并得出了可以作为力传感器设计的依据和原则。

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