《结构陶瓷在压力传感器中的应用》PDF+DOC
作者:李士忠,石汝军,翟鹏,郭益平,李岩
单位:山东省硅酸岩研究设计院;山东省陶瓷工业科技情报站
出版:《山东陶瓷》1998年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBOWL1998040080
DOC编号:DOCBOWL1998040089
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结构陶瓷作为零力学滞后、低介电绝缘材料,在压力传感器中应用可以降低压力传感器的蠕变现象.提高其反应速度。由于陶瓷烧结体耐高温、耐腐蚀,可以在其上制备微米级导电和绝缘薄膜,使压力传感器的精度和抗冲击、抗过压能力大大提高。其相关技术为其它传感器的小型化、集成化、多功能化奠定了基础。
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