作者：姜晶,方志良,刘福来,林列,母国光 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》1998年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB811.0050 DOC编号：DOCGXXB811.0059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出一种用于空间自由曲面测量的激光非接触曲面面形传感器。该传感器结构简单，在光学原理上传感器的输出量与被测量成线性关系，接收物镜绕系统光轴３６０&#176；接收目标面的漫射光，目标面的倾斜产生的影响很小，解决了困扰空间自由曲面测量中阴影效应、倾斜等问题。该传感器的测量范围为４ｍｍ，分辨率为２μｍ，当目标面（漫反射面和金属等镜面反射面）倾斜角为&#177；８５&#176；时，仍能保证２０μｍ的测量精度。

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