《微加工硅压力传感器》PDF+DOC
作者:杨玉,贺小涛
单位:中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院
出版:《自动化仪表》1998年第09期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZDYB1998090080
DOC编号:DOCZDYB1998090089
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一、引言 压力是反映物质状态的重要参数之一:常用的压力传感器型式有电容式、电感式、压电式、应变式、振频
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