《厚膜微压力传感器的研究》PDF+DOC
作者:马以武,常慧敏,宋箭,王英先,虞承端
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1999年第06期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS906.0030
DOC编号:DOCYBJS906.0039
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针对目前我国工业过程自动控制、机电一体化及其他应用领域微压测量用工业变送器、液位计技术的需要,采用较大半径/厚度比(r/h)的新型超薄微压陶瓷弹性体设计和高性能钌酸盐厚膜应变电阻,并运用厚膜印刷、烧结工艺技术,研制出工作温度高、耐腐蚀、性能价格比高的新型厚膜微压力传感器。量程1kPa、5kPa、10kPa,精度02%~05%。并已在石化、冶金、电力等部门推广应用。主要阐述其设计、工艺及主要性能,并对研制中的若干问题进行探讨。
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