《硅谐振梁式压力传感器模拟计算》PDF+DOC

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2. 《关于谐振式硅微结构压力传感器的综合研究》PDF+DOC 谐振式硅微结构压力传感器以其高精度和高稳定性成为多领域测试压力时的首选传感器。本文对近三十年间国内国外对谐振式硅微结构压力传感器的相关研究进行综述，简介其原理与类别，具体分析两种不同芯体的传感器的研究概况，并对芯体不同传感器的激励方式和检测方式进行对比，分析各自的特点，最后展望谐振式硅微结构压力传感......
3. 《微结构谐振梁式压力传感器研究》PDF+DOC 利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器 .传感器的谐振器的品质因素 Q值大于 170 0 0 .采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ，其压力测试范围为 0～ 40...
4. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件 ，硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 ：建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型 ；以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 ：方形膜边长 4 mm，膜厚 0 .1 mm，梁谐振子长...
5. 《硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化》PDF+DOC 对一种硅谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构参数进行了优化设计。所讨论的敏感结构以方形硅膜片作为一次敏感元件，直接感受被测压力。在膜片的上表面制作浅槽和硅梁，以硅梁作为二次敏感元件，间接感受被测压力。为减少敏感结构内外能量耦合，提高振子的Ｑ值，采用有限元仿真分析的方法，优化敏感边界结构参数。...
6. 《热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算》PDF+DOC 针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构，利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算。分析并得出了激励电阻在梁谐振子上位置、长度、宽度变化时；梁谐振子长度、宽度、厚度变化时；以及激、拾振电阻共同作用时，梁谐振子温度场的分布规律。...
7. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统》PDF+DOC 讨论了一种热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件 ；硅梁作为二次敏感元件。在硅梁谐振子的中部设置一电阻 ，作为热激励单元 ；在梁的根部设置一压敏电阻 ，作为拾振单元。基于该谐振式硅微结构压力传感器敏感机理 ，分析了信号的相互转换 ，给出了传感器......
8. 《MEMS固态引信核心子系统的设计》PDF+DOC 讨论了微机电固态引信核心子系统 (即微传感器系统 )的硅微结构设计和分析 ，并针对典型的弹性质量系统 ，建立了其过载变形的模型 ，给出了用于计算位移加速度关系系数的方法。...
9. 《复合材料方形膜的压力频率特性》PDF+DOC 基于一种典型的微结构硅谐振压力传感器由多层不同材料构成的谐振子的实际结构特点，建立了被测压力与谐振子静挠度、谐振子固有频率的数学模型．计算和分析了谐振子的振动特性，给出了各复合材料层的几何参数、物理参数对其振动特性的影响规律．揭示了复合材料方形膜的压力频率特性，为设计该类谐振子提供了理论依据．...
10. 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC 本文研究了谐振式硅微结构压力传感器在单频激励和双频激励情况下的非线性振动特性。利用多尺度法研究运动方程中三次非线性项对传感器频率特性的影响规律，提出了改善谐振式硅微结构传感器特性的方法以及在实现闭环自激系统时应采取的措施。...