作者：刘永刚,李兵,穆建军 单位：中国航天科技集团公司第七O四研究所 出版：《遥测遥控》1998年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYCYK801.0040 DOC编号：DOCYCYK801.0049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器在航天等许多领域应用很广。它的压力应变膜片是硅应变膜片，其制造工艺是集成电路及微机械加工工艺。将不锈钢隔膜、灌充液及硅应变膜片有机地结合起来，使传感器的精度高、可靠性好、稳定性好及动态性能好，不但用于普通气体及液体的压力测量，还可用于腐蚀性介质的压力测量。文中介绍其工作原理、结构、制造工艺及技术指标最后指出今后研究的工作重点。

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