作者：张联,叶雄英,周兆英,李勇,姚健 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1999年第12期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1999120000 DOC编号：DOCYBJS1999120009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种结构简单、易于加工的阀片式硅微流量传感器。该微流量传感器通过阀片将流量转换为梁表面弯曲应力，再由集成在阀片上的压敏电阻桥检测出流量信号。该传感器采用硅微细加工工艺制作，直接在单晶硅上加工出阀片和压敏电阻桥。该微流量传感器芯片尺寸３ ．５&#215；３．５（ｍ ｍ） ，封装后的外形尺寸为Φ１０&#215；４（ｍ ｍ） ；在１０ ～２００ｍｌ／ｍｉｎ 的气流量下，线性度优于５ ％ ．

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