作者：尤晖,李川奇,沈连官,周华 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》1998年第10期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX810.0180 DOC编号：DOCZGJX810.0189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 综述了典型的电容式微加速度传感器的工作原理、结构和特点，并对这类传感器的若干关键技术及研究方向进行了探讨。

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