作者：王祁,于航 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1998年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ802.0180 DOC编号：DOCCGQJ802.0189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 简要介绍了智能传感器设计与制造，其中包括微机械加工技术及电子电路的设计。

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