作者：刘月明,刘君华,张少君 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1999年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1999040020 DOC编号：DOCCGQJ1999040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅微机械传感器的技术特点及发展趋势》PDF+DOC2000年第02期 刘月明,刘君华,张少君 《光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展》PDF+DOC1999年第01期 吴浩扬,李炳乾,朱长纯,刘君华 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC2003年第04期 朱长纯,韩建强,刘君华 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2009年第06期 史晓晶,陈德勇,王军波,毋正伟,刘磊 《硅微机械谐振压力传感器技术的发展》PDF+DOC2017年第06期 叶俊,吴宏熊,叶晓伟 《硅微传感器的热挠曲及谐振频率的计算》PDF+DOC2000年第02期 刘月明,刘君华,张少君 《石英晶体谐振器的力—频效应及其应用》PDF+DOC1998年第08期 冯冠平,王晓红,王劲松 《硅微板条谐振式传感器谐振频率分析及计算》PDF+DOC1994年第06期 李志能,陆献尧,裴念 《基于硅谐振压力传感器的大气数据系统的实现》PDF+DOC2008年第12期 常丽敏,齐兴龙,董庆伟 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC2002年第04期 童志义,赵晓东

    • 对光激励硅微机械式传感器的进展进行了综述，总结了该传感器的技术特点和结构形式，最后介绍了四种典型实例

    📙 相关资料

    1. 《硅微机械传感器的技术特点及发展趋势》PDF+DOC 基于硅微机械传感器的技术特点 ，分析了这类传感器的发展趋势 ，同时指出了它进一步发展中急需解决的几个问题...
    2. 《光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展》PDF+DOC 从基本工作原理着手阐述了光激、光拾硅微机械谐振式传感器，评述了近年来在光激、光拾方式下工作的硅微机械谐振式压力、温度传感器的进展，并就该领域未来的发展作了展望。...
    3. 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC 概述国内外目前已实现的微机械传感器，特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。...
    4. 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC 提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。该传感器采用了电磁激励和差分检测方式。谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片，从而实现了谐振器与压力膜的一体化，避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力，并且工艺简单易于实现。文中介绍了结构的有限元仿真(FEA-ANSYSSimulation)优化，工......
    5. 《硅微机械谐振压力传感器技术的发展》PDF+DOC 现阶段，硅微机械谐振压力传感器应该是稳定性最好及精确度最高的传感器，在航空航天及工业等领域内广泛应用。按照硅微机械谐振压力传感器目前研究成果，对硅微机械谐振压力传感器工作原理进行阐述，分析不同类别硅微机械谐振压力传感器芯体结构，对硅微机械谐振压力传感器未来发展方向进行分析，希望能够增加对硅微机械谐振......
    6. 《硅微传感器的热挠曲及谐振频率的计算》PDF+DOC 分析了硅微机械谐振式传感器在热激励下的挠曲及谐振频率变化 ，建立了相应的数学模型 ，并对热挠曲灵敏度进行了优化设计。同时通过算例和测试数据的对比 ，验证了谐振频率计算模型的正确性。...
    7. 《石英晶体谐振器的力—频效应及其应用》PDF+DOC 自从石英晶体谐振器被发现以来，其力—频效应在实验和理论方面已经进行了半个世纪的研究，一系列有价值的理论和实验结果，使得基于力—频效应的传感器的发展具有可靠的理论基础。直到现在，力—频效应的意义，尤其是它在实际应用方面的意义还未消逝。本文以石英谐振器的力—频效应为主线，综述了其５０年来的研究概况及基于......
    8. 《硅微板条谐振式传感器谐振频率分析及计算》PDF+DOC 对硅微机械谐振式传感器的谐振频率计算提出了新的物理模型—两端固支薄板条模型，该模型不同于常说的硅桥（梁）或硅弦模型。计算结果表明该模型更符合实际，优于有关文献结果。...
    9. 《基于硅谐振压力传感器的大气数据系统的实现》PDF+DOC 详细介绍了Druck RPT 200型硅谐振压力传感器的工作原理，阐述了大气数据系统的结构、建模及硬件实现等研制过程；该系统采用Druck RPT 200型硅谐振压力传感器替代原振动筒式压力传感器测量压力，并采用小型单板计算机作为大气数据系统的嵌入式计算机，实现高度、空速和马赫数等参数的计算，并由显......
    10. 《国内外MEMS器件现状及发展趋势》PDF+DOC 介绍了MEMS器件的发展历史 ，国内外研究和应用现状 ，对国内外差距进行了比较 ，给出了MEMS器件今后的一些发展趋势。同时 ，提出了推进MEMS器件产业化的建议...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。