作者： 单位：机械工业信息研究院 出版：《现代制造》1999年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZZXD1999040030 DOC编号：DOCZZXD1999040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 传感器与微电子技术、固态技术紧密相关。随着50年代晶体管及基于平面技术的集成电路的开发，人们围绕传感器的功能进行了大量的研究，这些都直接导致了多种固态传感器的研发及其市场的形成。第一个硅传感器即利用了单二极管的光敏特性和温敏特性。随后，压敏及霍耳效应也被纳入了研究的范畴。70年代，早期的压敏及磁敏传感器问世。

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