作者：王跃林,江刺正喜 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》1999年第04期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX1999040130 DOC编号：DOCZKKX1999040139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 力平衡微机械真空传感器采用 ｐ＋＋硅自停止腐蚀技术和硅／玻璃键合技术制作，为了保持参考腔处在高真空状态，使用非蒸散吸气剂来吸附参考腔中的残余气体。研制了两种结构新型力平衡真空传感器，结果表明，采用力平衡模式工作可以扩展传感器的动态范围，灵敏度高。对力平衡电压与真空度的关系进行了研究，理论值与实测值符合得非常好。

    📙 相关资料

    1. 《真空的获得与测量》PDF+DOC “真空的获得与测量”是近代物理实验中的一个有关真空技术的基础性实验本文论述了该实验的意义及更新的必要性，简单描述了实验装置，记述了主要技术指标以及实验内容。...
    2. 《硅微加速度传感器过载能力的研究》PDF+DOC 过载能力是加速度传感器的重要参数之一，缺少过载能力是早期硅微机械- 岛结构的加速度传感器未能实用的重要原因.本文采用微机械限位结构解决了梁-岛结构压阻式加速度传感器的抗过载能力，并对设计进行了优化.采用这种方法使量程在50gn以下的器件具备了1000gn以上的过载能力，达到了实用的要求.本文还对测量......
    3. 《加工对称梁岛结构的微机械加工新技术》PDF+DOC 本文报道了一种用无掩模腐蚀技术加工对称梁岛结构的微机械加工技术。根据硅台阶在ＫＯＨ无掩模腐蚀下形状和尺寸的变化规律，可以设计制造出一般掩模腐蚀难以形成的微机械对称梁岛结构。由于该技术工艺简单，易于控制，为制作对称梁岛结构的硅电容加速度传感器提供了新的加工手段。...
    4. 《降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法》PDF+DOC 本文分析了硅微机械加速度传感器横向灵敏度产生的原因，并介绍了降低它的方法。...
    5. 《多功能压阻式压力传感器的改进》PDF+DOC 本文提出了一种改进包括一个测量范围为10kPa的差压传感器、一个测量范围为6MPa的静压传感器和一个用于智能差压变送器的温度传感器的压阻式多功能传感器性能的方法。可以使静压传感器的输出大于25mV/V/6MPa，并且将差压对静压传感器的影响减小到小于0.35mV/V/10kPa(等效于1.4％F&a......
    6. 《硅压阻式真空变送器》PDF+DOC 本文叙述了采用单晶硅压阻效应制作真空变送器的机理和关键工艺．给出了测量结 果和结论，讨论了该元件应用范围等问题。...
    7. 《氧传感器波形分析(续)》PDF+DOC (2)急加速法 对于一些1988年以后生产的汽车，用丙烷加注法测试氧传感器是非常困难的，因为这些汽车的发动机控制系统具有真空泄漏补偿功能(采用速度密度方式进行计量空气流量，如安装正气压力传感器等)，能够非常快地补偿较大的真空泄漏，所以氧传感器的信号电压不会降低。这时，在测试氧传感器的过程中一般要用手......
    8. 《用于微电子机械系统封装的体硅键合技术和薄膜密封技术》PDF+DOC 对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ，整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ，以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ，强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ，具体技术则应在保证器件功能和尽量减少芯片复杂性两者之间权衡决定。...
    9. 《真空式气动传感器的研究》PDF+DOC 该文研究了一种利用真空吸力进行感应的真空式气动传感器，结构简单，耗气量少，对被控对象干扰低，灵敏度高，可用于带材纠偏的场合。...
    10. 《压阻式冲击硅微机械加速度传感器的温度补偿》PDF+DOC 给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的温度补偿与实现方法。该方法采用串并联电阻来补偿加速度传感器的零位温度漂移，采用在电源后串联二极管来补偿加速度传感器的灵敏度温度漂移。具体实现时，采用高低温试验机对加速度传感器的环境温度进行变化，通过检测系统测量出4个压敏电阻在高低温时的电阻值，运用软件计算出......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。