作者：王蕴辉,齐虹,李瑞,王善慈 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1998年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ805.0110 DOC编号：DOCCGQJ805.0119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 通过将扩散硅压力传感器的每一道工序作为“部件或元件”，构成“工艺”的可靠性框图，进行ＦＭＥＣＡ分析；指出了各个工艺所产生的失效模式、失效原因、失效效应和改进措施。

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