《电子隧道传感器的原理、现状与发展》PDF+DOC
作者:龙志峰,薛实福,李庆祥
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》1998年第02期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM802.0000
DOC编号:DOCGXJM802.0009
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电子隧道传感器应用电子隧道原理对位移进行检测,结构简单,能耗低,它具有很高的灵敏度,并且不受尺寸限制,在微型化和集成化方面显示了良好的前景,各国科学家对电子隧道传感器进行了广泛的研究并制成了加速度计,红外探测器,磁强计,触觉传感器,这些传感器小巧且性能优异。本文介绍了电子隧道原理,对电子隧道传感器的结构和性能进行了描述,并讨论了电子隧道传感器的发展前景。
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