《平面直热式气敏元件及其表面修饰》PDF+DOC
作者:全宝富,全海英,王军峰,孙良彦
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2000年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2000020030
DOC编号:DOCCGQJ2000020039
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采用液相掺Sb的共沉淀方法制备低阻SnO2 纳米微粉 ,以其为敏感材料掺入Pt2wt%及Au5 .4at %的催化剂 ,在Si衬底上制作了平面直热式气敏元件。利用 2 %的Co(NO3 ) 3 溶液作为修饰液对元件进行表面修饰 ,可制得对NH3 具有较高灵敏度及选择性的敏感材料。
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