《使用微晶振的扫描近场声显微镜研究》PDF+DOC
作者:汪学方,张鸿海,王生,徐龙
单位:武汉理工大学
出版:《武汉理工大学学报(信息与管理工程版)》2000年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWHQC2000010080
DOC编号:DOCWHQC2000010089
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描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜(SNAM)。其原理是利用谐振频率为1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面,在此过程中晶振受到流体阻尼,振动特性发生变化,通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌的信息。在分析了SNAM的检测机理基础上,设计了SNAM系统,测量时垂直分辨率可达到纳米级
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