作者：张文伟,申金媛 单位：天津理工大学 出版：《光电子·激光》1999年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDZJ903.0150 DOC编号：DOCGDZJ903.0159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文根据激光三角位移传感器的结构特点，提出了利用传感器自身光路和光电探测器的激光三角位移传感器光斑自检法以探测传感器入射光斑的半径。利用此方法可探测半径５０μｍ至５ｍｍ的入射光斑半径，测量分辨力为１μｍ。该方法具有装置简捷，调整方便的特点。实验表明该方法的可行性。

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