作者:戴一帆,王新峰,吴宇列 单位:国防科技大学 出版:《国防科技大学学报》1999年第05期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGFKJ1999050230 DOC编号:DOCGFKJ1999050239 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍了一种高精度、高分辨率的超精密气浮式电容传感器。该系统将具有方形导轨的气浮测头和超小型电容传感器结合在一起,既保证了测头的高分辨率,又体现了电容传感器的高精度、高频响的特点,是一种较好的用于超精密接触测量的测量系统

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