作者：段力,卢学良,史丽云,王英,付学成,王丹凤,汪军,沈勇,翁昊天,张亚非 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2016年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2016110040 DOC编号：DOCBDTQ2016110049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研制了一种氧化锌基的固体装配型薄膜体声波谐振器。采用了布拉格反射层为反射基底，以掺镁氧化锌作为压电层，利用MEMS微制造工艺形成了一系列的固体装配型薄膜体声波谐振器。通过优化条件，制备出了具有优良谐振性能的薄膜体声波器件。该谐振器回波损耗可达-20 dB，谐振峰在1.8~2.4 GHz，Q值可达800。利用X射线衍射(XRD)谱研究了MgxZn1-xO压电薄膜的结晶特性，得到了很好的c轴(002)铅锌矿薄膜结构特性。利用3D显微镜观测了固体装配型薄膜体声波谐振器的表面与侧面结构。根据MgxZn1-xO压电层的测量厚度和谐振频率，计算了掺镁氧化锌薄膜体声波谐振器的相位声速值为6 854.1 m/s，比纯氧化锌压电薄膜的声速6 330 m/s略高。

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