作者：孟军,茅盘松 单位：东南大学 出版：《电子器件》1999年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ1999040120 DOC编号：DOCDZQJ1999040129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅微型加速度传感器技术》PDF+DOC2007年第03期 吴瑞,温廷敦 《基于介观压阻效应的硅微加速度计研究》PDF+DOC2007年第08期 吴瑞,温廷敦 《桥梁健康监测中三向传感器的测点优化布置方法》PDF+DOC2016年第03期 胡峰强,王军,丁友清,蔡源介 《一种微型隧道效应磁强计的设计》PDF+DOC2000年第08期 朱俊华,丁衡高,叶雄英 《微机械加工硅电容式加速度传感器》PDF+DOC2001年第01期 李跃进,杨银堂,朱作云,马晓华,陈锦杜 《振动主动控制中的三个问题》PDF+DOC2001年第01期 王加春,李旦,董申 《叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析》PDF+DOC2010年第20期 南昊,田露 《有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用》PDF+DOC2010年第02期 郝永平,卢继奎,杨芳 《一种集成三维微力传感器的微夹持器研制》PDF+DOC2007年第02期 荣伟彬,谢晖,王家畴,孙立宁,陈伟 《介观压阻效应在硅微加速度计中的应用》PDF+DOC2007年第29期 王辉,吴瑞,温廷敦

    • 本文介绍了微硅加速度传感器自六、七十年代发展至今，其代表产品的特点，对微硅加速度计三种典型代表形式进行了分析，指出其优缺点，并对目前微硅加速度计的发展趋势－检测空间加速度的三维加速度计进行了重点讨论。

    📙 相关资料

    1. 《硅微型加速度传感器技术》PDF+DOC 介绍了硅微加速度计的基本原理以及国内外最新发展的几种硅微加速度计的结构形式，包括压阻式、电容式、隧道式等，分析了这些传感器的基本特点，总结出它们在传感器性能方面存在的一些问题，提出了一些解决关键问题的措施，并对目前两种新的微机理：共振隧穿和介观压阻效应的原理和应用前景进行了论述。...
    2. 《基于介观压阻效应的硅微加速度计研究》PDF+DOC 为了突破传统机电转换局限，提高加速度计灵敏度，提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计，基于这种原理设计并制备了GaAs基加速度计，通过理论分析计算与试验测试，得出该结构在0.1gn输入下的输出，并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较，验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的......
    3. 《桥梁健康监测中三向传感器的测点优化布置方法》PDF+DOC 提出一种适用于大型桥梁结构的三维加速度传感器测点布置优化方法——三维有效独立法(简称EI3)。该方法将三向加速度传感器按Fisher信息矩阵准则进行优化布置。以悬臂梁为例，分别采用三维有效独立法、逐步累积法和遗传算法对传感器优化布置并相互验证。结果表明：三者吻合较好，但三维有效独立法能有效反映多自由......
    4. 《一种微型隧道效应磁强计的设计》PDF+DOC 隧道效应传感器是一种灵敏度很高的位移传感器 ，其原理已经被用于微加速度计和红外传感器的设计。文中介绍了基于这一原理的微型磁强计 ，对传感器的固有频率和驱动电压进行了分析和计算。...
    5. 《微机械加工硅电容式加速度传感器》PDF+DOC 介绍了硅电容式加速度传感器的工作原理和制作过程。传感器的敏感元件为一个差分电容器 ，它是由活动质量块与两个玻璃极板通过阳极键合形成。活动质量块用标准的双极工艺和各向异性腐蚀工艺制作。该传感器的量程为 2 0 gn，线性度为 10 -4 量级...
    6. 《振动主动控制中的三个问题》PDF+DOC 介绍了振动主动控制中的三个重要问题：传感器、作动器和信号处理，对常用的传感器、作动器的工作原理、特点和应用进行了分析，并对信号处理的两个重要技术：Fourier变换和小波分析进行了较详细的分析比较。...
    7. 《叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析》PDF+DOC 本文对一种基于MEMS技术的2-D梳状插指电容加速度传感器的设计方案进行了分析、研究和仿真。该加速度传感器使用同一衬底上整合的独立的相互垂直的梳状插指电容结构，实现平面上的加速度监测，灵敏度和分辨率满足汽车安全气囊用要求。...
    8. 《有限元分析软件在封装结构变形影响中的应用》PDF+DOC 针对所见文献未给出封装结构变形对压阻式加速度计影响值，引入有限元分析软件Coventor Ware的Package模块进行定量分析。利用有限元分析软件Coventor Ware分析压阻式加速度计在不同温度下和受到不同方向冲击时，封装结构变形对其性能的影响。分析结果表明，温度和冲击作用于压阻式传感器封......
    9. 《一种集成三维微力传感器的微夹持器研制》PDF+DOC 微操作中力的检测与控制是实现无损伤操作的关键。因此，该文提出了一种以压阻检测技术为基础，集成三维微力传感器的微夹持器。传感器标定实验结果表明，该传感器具有耦合小，测量分辨率高，线性度好的优点。传感器量程为-10~+10 mN，在x、y向的分辨率均为2.4μN，z向的分辨率为4.2μN。微夹持器采用压......
    10. 《介观压阻效应在硅微加速度计中的应用》PDF+DOC 为了突破传统机电转换局限，提高加速度计灵敏度，提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计，基于这种原理设计一种四梁岛结构，通过理论分析与仿真计算，得出该结构在1gn输入下的输出，并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较，从理论上验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的可行性，为此......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。