作者：刘刚,田扬超,洪义麟,阚娅,张鹏,田学红,伊福廷 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2000年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2000040130 DOC编号：DOCWXJS2000040139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了利用LIGA技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究 ，讨论了微流量计的结构和工作原理 ，设计和研制了一种微流量计。

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