作者：王跃林,王渭源 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2000年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2000010000 DOC编号：DOCGNCQ2000010009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《传感器技术的最新进展和市场机遇》PDF+DOC2000年第03期 朱言彬 《论微电子机械系统MEMS》PDF+DOC2004年第03期 鄢云 《基于光栅平移的大量程光学加速度计》PDF+DOC2010年第05期 陈柳华,林巧,李书,倪玮,吴兴坤 《行业信息》PDF+DOC1999年第07期 《MEMS的微封装技术初探》PDF+DOC1997年第02期 毅力 《传感器技术开发备受关注》PDF+DOC2005年第06期 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《关于微机电系统研究》PDF+DOC2003年第02期 温诗铸 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润

    • 本文介绍了国际集成微光机电系统的研究现况及其产业化前景 ；在此基础上 ，提出了对我国加快这一领域的研究和产业化的看法

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