作者：王小平,王彦芳,李夏青 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2000年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2000050180 DOC编号：DOCBDTJ2000050189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了单片机控制的非介入式超声波流量计的工作原理及其在半导体器件生产中的应用，并给出发射及接收部分的实际电路。

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