作者：于映,陈跃,林吉申 单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版：《电子元件与材料》2000年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZAL2000050010 DOC编号：DOCDZAL2000050019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MIM结构薄膜应变栅的工艺研究》PDF+DOC2000年第05期 于映,陈跃 《薄膜应变栅称重传感器的研制》PDF+DOC1998年第05期 于映,陈跃,陈抗生 《高温薄膜传感器制备与性能研究》PDF+DOC2016年第11期 王强,张久斌,邵靖,程萍,丁桂甫,段力 《基于黑体辐射感温薄膜的瞬态高温传感器的设计》PDF+DOC2014年第06期 王俊峰,李晋英 《基于多孔PDMS薄膜介电层的柔性压力传感器》PDF+DOC2019年第04期 李玲,岳凤英,乔霖,申恒瑞,索艳春 《光学元件的薄膜镀层》PDF+DOC1993年第01期 关珊 《薄膜应变式传感器及其优点》PDF+DOC1984年第06期 颜重光 《厚膜与薄膜技术的进展》PDF+DOC1982年第03期 Yoshiaki Takeda,杨镇夷 《光纤布拉格光栅表面化学镀的研究进展》PDF+DOC2012年第02期 唐安琼,方亮,薛生杰,吴俊,刘立,章鹏 《压力、温度复合传感器技术研究》PDF+DOC2009年第S1期 邹其利,滕纲,李小换,张世名

    • 运用薄膜技术在镍基弹性体上制备金属 -绝缘层 -金属 (MIM)结构的薄膜应变栅 ，测试了应变栅在 2 0 0～ 30 0℃的高温区内的稳定性 ，并分析了应变栅薄膜的结构、薄膜的应力以及热处理工艺等因素对力敏薄膜在高温下的稳定性的影响。

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