作者：吴春阳,康宁,孙旭 单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所 出版：《真空》2000年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKZK2000010130 DOC编号：DOCZKZK2000010139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了应用扩散硅压力传感器研制的 VG- 1高灵敏真空控制仪测量方法

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