《微机电系统技术的实际应用——微型仪器》PDF+DOC
作者:丁衡高,袁祖武
单位:国防科技大学
出版:《国防科技大学学报》2000年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGFKJ2000020200
DOC编号:DOCGFKJ2000020209
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微机电系统被普遍认为是一项面向 2 1世纪的可以广泛应用的新兴技术 ,作为其实际应用的微型仪器 ,具有传统仪器无可比拟的优势。从微型仪器入手 ,分别介绍了其概念、特点和市场应用 ,并在最后阐述了对微型仪器的几点认识。
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