作者：柯量 单位：北京自动测试技术研究所 出版：《电子测试》2000年第12期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWDZC2000121000 DOC编号：DOCWDZC2000121009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统(MEMS)经10年的实际应用，已证实可批量生产，首先在压力传感器和加速度计方面获得成功，以其体积小巧和灵敏度高，在许多应用中代替传统的压力传感器和加速计，例如用于汽车防撞气囊，产量每月超过一百万支。随着时间的推移，出现速率传感器、陀螺、射频开关、光学开关和化学/生物MENS，亦即进入传统传感器并超越传统传感器的领域。 MEMS既在半导体工艺基础上发展而来，但涉及材料、技术和测量又比半导体工艺复杂。例如

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