作者：刘月明,刘君华,张少君 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2000年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2000030000 DOC编号：DOCCGJS2000030009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文分析了镀膜双层微机械硅桥的热激励挠曲及谐振频率变化 ，建立了相应的数学模型 ，并对热挠曲灵敏度进行了优化设计 .同时在充分考虑金属镀膜影响的情况下 ，给出了谐振频率变化的计算模型 ，该模型通过和测试数据的对比 ，验证了其正确性 。

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