作者：蒋庄德,王海容,王朝晖 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》2000年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX2000030020 DOC编号：DOCZGJX2000030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 纳米测量技术已成为纳米技术的重要组成部分。微型智能仪器 ，是微型传感器、微型执行器和信息处理技术、微电子技术发展的必然产物 ，是微型机械电子系统的主要研究内容之一。它将使仪器的性能提高、价格下降、在生产和生活中应用更加方便。微型智能仪器具有良好的应用前景 ，是 2 1世纪仪器发展的一个重要方向。对纳米测量技术和微型智能仪器的一些普遍问题、关键技术及其发展进行论述。

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