作者:谢峰,谢铁邦,张新宝 单位:中国计量测试学会 出版:《计量学报》2000年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJLXB2000030020 DOC编号:DOCJLXB2000030029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《用于表面形貌测量的自动焦点跟踪方法》PDF+DOC1999年第04期 谢峰,谢铁邦,李柱 《反射式光纤位移传感器的实验与研究》PDF+DOC2016年第06期 刘冬,崔陆军,李春广,王亚军 《枪械振动测试传感器研究》PDF+DOC1998年第02期 石庚辰,郭庆阳,王俊 《汽车安全气囊磁电式传感器的设计与研究》PDF+DOC1999年第04期 张河,翟性泉,李豪杰 《CCD传感器在光电精密测径系统中的应用》PDF+DOC1995年第05期 孙学珠,付维乔,王庆有,刘庆 《超声波非接触位移测量的研究》PDF+DOC1987年第03期 吴守正,胡庆超 《高精度电容测微仪关键技术》PDF+DOC2004年第09期 李建文,刘书亮,付敬业,周涛,郑义忠 《特种电流传感器》PDF+DOC2003年第12期 柳立平,刘焱 《数字式涡流传感器的研究》PDF+DOC2001年第08期 唐炜,顾金凤 《各种光电传感器的不同应用方式》PDF+DOC2009年第06期 杨燕,邢洁
  • 介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自动焦点跟踪传感器 ,该传感器可实现表面形貌的快速、非接触测量 ,其垂直测量范围为 50 0 μm ,最高分辨率为 3nm。文中详细叙述了该传感器的工作原理、关键技术的实现及其应用。

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