《表面形貌焦点跟踪测量方法的研究》PDF+DOC
作者:谢峰,谢铁邦,张新宝
单位:中国计量测试学会
出版:《计量学报》2000年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLXB2000030020
DOC编号:DOCJLXB2000030029
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介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自动焦点跟踪传感器 ,该传感器可实现表面形貌的快速、非接触测量 ,其垂直测量范围为 50 0 μm ,最高分辨率为 3nm。文中详细叙述了该传感器的工作原理、关键技术的实现及其应用。
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