作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2000年第11期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2000110070 DOC编号：DOCCGSJ2000110079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS技术、MST技术和其它的微机械加工技术制造的各种仪器已出现十多年了，但仍然十分吸引人们的注意力。虽然MEMS市场中包含的技术多种多样，年平均产值从30亿至150亿美元不一，但由于生产制造中存在的一些障碍，这些技术仍然没有被大面积的采用。

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