作者:汪学方,张鸿海,王生,徐龙 单位:华中科技大学 出版:《华中科技大学学报(自然科学版)》2000年第05期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHZLG2000050000 DOC编号:DOCHZLG2000050009 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 为了克服传统的扫描探针显微镜 (SPM )在应用中的不足 ,采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置 ,使成本极大地下降 .通过对锯齿型光栅试件的检测 ,证明这种检测方法是可行的 .同时在微石英晶振前端安装不同种类的细针 ,可实现STM ,AFM ,MFM与EFM的测量 ,构成一机多能系统

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