作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2000年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2000030080 DOC编号：DOCCGSJ2000030089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 传感器市场分析(二)——MEMS传感器 微机械电子系统(MEMS)从最早出现至今已有十多年的时间，并已成为一个充满了巨大发展潜力的领域。有关分析人员指出，整个市场价值估计在30～150亿美元之间，而且随着产品在更多的领域加以应用，这个市场会越来越大。 MEMS制造技术的发展，伴随着是处理能力和批量生产技术的提高，因而在市场上形成了一个良好的开发环境——一种新设计刚刚出现，即可以以最快速度投入到实际应用中。另外工程技术人员由于有CAD和其它软件工具的帮助，有能力针对特定应用开发特定的MEMS技术及产品。

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