作者：王丰,吕平临,李敬文 单位：哈尔滨商业大学 出版：《哈尔滨商业大学学报(自然科学版)》2000年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLJS2000020040 DOC编号：DOCHLJS2000020049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 论述了硅各向异性腐蚀技术在国内外的水平和友展趋势，攻关成果的推广应用前景。

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