作者：魏兵 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2000年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2000030130 DOC编号：DOCCGQJ2000030139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《准LIGA技术的研究与发展》PDF+DOC1999年第01期 游余新,王东红,陈伟平 《溶解氧传感器研究进展》PDF+DOC2014年第03期 尚景玉,唐玉宏 《LIGA技术及其在制造可动微结构件中的应用》PDF+DOC2001年第12期 何友义 《微型机械加工技术、应用途径和发展方向的研究》PDF+DOC2000年第02期 李荣,罗庆生 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《源于IC、超越IC 微机电技术迈向标准化》PDF+DOC 卞莲 《体微加工技术在MEMS中的应用》PDF+DOC2005年第03期 林日乐,谢佳维,蔡萍,翁邦英,董宏奎,赵建华,王瑞,张巧云 《热科学领域的高新技术及其产业化前景》PDF+DOC2002年第01期 李德桃 《MEMS概况及发展趋势》PDF+DOC2002年第01期 张威,张大成,王阳元 《微热板的热测试和热分析》PDF+DOC2001年第02期 顾毓沁,张荣海,朱德忠,孙晓毅,阎桂珍,唐祯安,Philip C.H. Chan,Johnny K.O. Sin,I-Ming Shing

    • 准LIGA技术吸收了体硅微加工技术和LIGA技术的优点 ，利用此技术 ，用普通光学曝光机可将光刻图形转移到较厚的光刻胶上 ，获得较大的深宽比 ，从而解决了LIGA技术的光源问题。简要介绍了准LIGA技术的工艺过程特点和应用实例

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