作者：潘礼庆,王岭,孙加林,洪彦若 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2000年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2000040190 DOC编号：DOCGNCQ2000040199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性 ，实验表明 ，刚制备的YSZ薄膜经 75 0℃常规退火处理后 ，薄膜表面致密、均匀、无裂纹 ，具备良好的导电性能。YSZ NASICON组合再加上Ba(NO3) 2 辅助电极构成的NOX气体传感器在 45 0℃下响应迅速 (响应时间约为 3min)、稳定 ，能检测到 1 0ppm量级的NO2 气体。

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