作者：刘金华,杨军,张敬平,林鸿溢 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2000年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2000040080 DOC编号：DOCMINI2000040089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用有限元法计算分析了以阴极尖锥阵列体作为力敏感膜的形变特性，给出了用表达式计算尖锥阵列体形变的修正值，为后继工作提供了可以选择的技术途径。

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