作者：李德胜,张鹏飞,藤田博之 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2000年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2000050080 DOC编号：DOCCGQJ2000050089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了在二维微驱动系统中实时检出磁性移动块的存在位置 ，提出并试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列 ，它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作。对该传感器的工作原理、制做工艺做了详细的描述 ，并给出了一些实验结果。

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