《多晶硅表面微机械光学角速率传感器》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《集成微机械传感器的最新进展》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)的迅速发展改变了设计者观察硅基微机械部件的方法。将这些结构同调整和处理电路、校准存储、与外界接口等结合起来的种种努力，现已到了收获季节。集成更多的片上功能已获得部分成功，显示这种想法的商业可行性。有趣的是，一些设计者已在致力于下一代集成硅传感器，使最新...
2. 《芯片式微型惯性传感器》PDF+DOC 由硅制造的能承受15000g的微型惯性传感器，有望将非制导炮弹变成”灵巧”制导炮弹，还可用于微型飞行器的自动驾驶仪中.然而，目前由硅制造的微机电系统(MEMS)角速率传感器的精度还低于用石英制造的类似传感器.在美国电气与电子工程师学会发起的于加州帕尔姆泉举行的定位与导航研讨会(PLANS)上，科研人......
3. 《光学振动传感器》PDF+DOC “进行振动试验时经常出现一个问题，即如何测量两个运动物体的相对运动。过去解决这类问题的办法是使用两只加速计之类的传感器，从信息的相减或叠加来测得相对位移；有时也使用电容传感器和摄象技术。在这篇文章里叙述的光学振动传感器是由麦粒状的光电管和硒光电池组成。使用光学器件检测相对振动位移要比用其它的方法来得......
4. 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC 概述国内外目前已实现的微机械传感器，特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。...
5. 《再入式光纤角速率传感器的研究》PDF+DOC 对新型再入式光纤角速率传感器进行了理论分析与实验研究 ，推导了它的光强透过率、灵敏度以及极限分辨率的解析表达式 ，分析了环形谐振腔中定向耦合器的耦合比与灵敏度以及极限分辨率的关系 ，并依据理论分析 ，研制了采用长度为 2 0 0m环形谐振腔的再入式光纤角速率传感器的实验装置。实验结果表明 ，这一实验......
6. 《微机械电容式加速度传感器的设计与加工工艺》PDF+DOC 对定齿偏置电容式加速度传感器进行了参数设计和优化。通过有限元仿真分析软件计算出其特征频率与典型振动模态，结果表明：传感器具有较大的频率响应范围，检测模态特征频率远小于其他模态，有效减小了交叉干扰。最后，给出了基于MEMS技术的电容式加速度传感器的加工工艺。...
7. 《微机械角速率传感器CMOS闭环驱动电路》PDF+DOC 为解决微机械角速率传感器的驱动信号对检测电极的耦合问题，提出一种基于电压频率调制闭环静电力驱动方法.该方法将驱动电压调制到高频，有效地将机械谐振频率与电压驱动频率分离，同时不改变驱动静电力的相位与频率.采用自动增益控制电路使得闭环驱动幅值非稳定性为0.01%，片上集成跨阻放大器可实现1 aF/sqr......
8. 《MEMS器件及其在生物医学上的应用》PDF+DOC 介绍了MEMS技术的发展概况及MEMS器件在信息领域、传感领域、生物技术领域的应用，重点介绍了MEMS在生物医疗中的应用及未来发展的趋势。...
9. 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC 微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有：MEMS(Micro Electro-Mechanical System，微机电系统)或MOEMS(微光机电系统，美国)、Micro-Machine(微机械，日本)、Micr......
10. 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC MEMS是微机电系统的简称，是多种学科交叉融合的前沿高技术，是未来的主导产业之一，将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用。...