作者：刘月明,刘君华,张少君 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2000年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2000020170 DOC编号：DOCBDTG2000020179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 分析了硅微机械谐振式传感器在热激励下的挠曲及谐振频率变化 ，建立了相应的数学模型 ，并对热挠曲灵敏度进行了优化设计。同时通过算例和测试数据的对比 ，验证了谐振频率计算模型的正确性。

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