作者：李兴,梁家昌,H.Therman Henderson 单位：天津职业技术师范大学 出版：《天津职业技术师范大学学报》2000年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFTJJB2000030010 DOC编号：DOCTJJB2000030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《深掺杂Si反常电阻效应微型流量传感器》PDF+DOC2000年第03期 李兴,梁家昌,Hunderson Therman 《微型流量传感器呼吸监测及信号处理系统》PDF+DOC2000年第02期 李兴,梁家昌,H.ThermanHenderson 《表面微机械MEMS温度传感器研究》PDF+DOC2015年第03期 刘庆海,黄见秋 《无机杂质对改善纳米BaTiO_3湿敏特性的作用》PDF+DOC1998年第02期 刘国范,王兢,刘雨微,徐宝琨 《氧化镍氧传感器的研究》PDF+DOC1989年第03期 郑莉光,孙良彦 《微机械气流式倾角传感器的研究》PDF+DOC2011年第12期 朴林华,崔雪梅,余全刚,王星,梅传志,张保丽

    • 使用深掺杂方法在Si材料中掺入Au原子后，其电阻率随温度T的变化关系从主要依赖于T－3/2项的浅掺杂材料变成主要依赖于exp(－E/KT)项的深掺杂材料，从而大幅度地提高了掺金Si材料对温度的敏感性。这样在理论上深掺杂Si材料比浅掺杂Si材料对温度的敏感性提高了约1000倍。对于深掺杂方法制成的微型流量传感器特性的测量证明了以上理论。深掺杂Si材料的应用不但大大提高了微型流量传感器的灵敏度，也大幅度地降低了响应时间。

    📙 相关资料

    1. 《深掺杂Si反常电阻效应微型流量传感器》PDF+DOC 使用深掺杂方法在 Si材料中掺入金原子后 ，其电阻随温度 T的变化关系由主要依赖于 T- 3/ 2 项的浅掺杂材料变成主要依赖于 exp( -E/...
    2. 《微型流量传感器呼吸监测及信号处理系统》PDF+DOC 用一种深掺杂硅材料制成的微型流量传感器来测量呼吸气流的流量 ，并用信号处理电路对微型流量传感器的输出进行鉴别 ，就可以监视呼吸系统状态的微小变化 .传感器偏置电压的变化对系统的稳定性有重要的影响 .通常 ，温度和环境的变化会使某些被认为是常量的参量发生意外的变化 .信号处理系统部分论述了使用自动补偿......
    3. 《表面微机械MEMS温度传感器研究》PDF+DOC 提出一种基于表面微机械工艺的MEMS温度传感器，其基本原理是：由于材料热膨胀系数的差异，复合悬臂梁在热应力作用下发生弯曲，进而影响压阻单元中的应力分布，压阻变化通过惠斯登电桥读出，由电桥输出电压变化表征温度的变化。相比于其他温度传感器，这种微机械温度传感器的灵敏度高、尺寸小、精度高。针对提出的温度传......
    4. 《无机杂质对改善纳米BaTiO_3湿敏特性的作用》PDF+DOC 用硬酯酸盐法合成了纳米ＢａＴｉＯ３材料，它对湿度有良好的敏感性能。在纳米ＢａＴｉＯ３中掺入少量杂质，会影响其感湿性能。本文研究了掺杂方法、掺杂种类及掺杂浓度对纳米ＢａＴｉＯ３湿敏元件的电阻和湿滞的影响。混合掺入Ｎａ２ＣＯ３和ＮａＨ２ＰＯ４可以使纳米ＢａＴｉＯ３湿敏元件的电阻为１０６～１０３Ω，湿滞＜......
    5. 《氧化镍氧传感器的研究》PDF+DOC NiO是一种由金属缺位而形成的P型半导体，在较高的温度下(600℃以上)，NiO材料的电阻率与氧分压有关，而且杂质对其性能影响很大。掺入一价杂质(Li_2O)，材料电阻率降低，氧分压对其影响减弱；掺入三价杂质(Al_2O_3)，材料电阻率增高，氧分压对其影响加强。据此，我们做出了直热式烧结型氧传感器......
    6. 《微机械气流式倾角传感器的研究》PDF+DOC 提出了一种能敏感倾角的微机械气流式传感器。采用微机械工艺在硅板上腐蚀出一个深槽，在深槽上设置2个有金属薄膜热敏电阻器的悬臂梁，用半圆球外壳封装成一个密闭腔体形成敏感元件；通过惠斯登电桥提取倾角电压信号；利用单片机和温度传感器构成补偿电路，实现温度补偿和线性度补偿。测试结果表明：测量范围为&#......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。