《QM-Y系半导体气敏传感器的失效分析》PDF+DOC
作者:杨留方,王毓德,吴兴惠
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2000年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2000040090
DOC编号:DOCCGJS2000040099
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通过对气体传感器的可靠性试验 ,得到了元件失效的主要类型 ,对失效元件从微观和宏观进行了分析 ,找到了一些引起元件失效的主要原因 ,对元件的实际应用和批量生产有着极其重要的价值
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