作者：沈桂芬 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2000年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2000010120 DOC编号：DOCCGJS2000010129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《压阻式传感器灵敏度特性分析》PDF+DOC1999年第04期 沈桂芬 《微压传感器膜片的设计与研制中的关键技术》PDF+DOC1988年第04期 沈桂芬,杨学昌,张久惠 《硅压阻式传感器性能影响因素的研究》PDF+DOC2000年第02期 朱目成,夏季,张立红,刘强 《压力传感器芯片版图设计中若干重要问题(1)》PDF+DOC1999年第01期 孙以材,高振斌,贾德贵,石俊生,杨瑞霞 《压阻式压力传感器灵敏度特性分析》PDF+DOC1996年第04期 沈桂芬,王正荣 《压阻式压力传感器C型结构偏差的有限元分析》PDF+DOC1995年第04期 吴坚民,唐祯安,牛德芳 《正方形膜片微压传感器设计分析及各向异性腐蚀技术》PDF+DOC1991年第01期 张九惠,沈桂芬 《采用环形扩散电阻的硅压力传感器》PDF+DOC1992年第06期 唐祯安,蒋国平,牛德芳 《半导体压力传感器的膜片设计分析》PDF+DOC1988年第05期 沈桂芬,王正荣,张九惠 《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC2003年第01期 沈桂芬,付世,丁德宏,姚朋军,张宏庆,范军,吕品

    • 较详细地分析了影响半导体力敏传感器性能的因素；介绍了圆膜片、片方膜、短形膜片上芯片的最佳设计方法．对研制开发新型的力敏传感器有一定的指导意义．

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