作者：郭继华,邓为民 单位：清华大学 出版：《清华大学学报(自然科学版)》2000年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQHXB2000020030 DOC编号：DOCQHXB2000020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为解决纳米技术中体积紧凑、高分辨率的测角问题 ，分析了表面等离子体波共振 ( SPR)的相位和振幅特征 ，根据共振角附近 SPR的相位对入射角的高度敏感性 ，提出了基于表面等离子体波共振原理进行微小角度测量的方法 ，它具有测量分辨率高和体积紧凑的优点。研制了实验装置并进行了测角实验 ，测量分辨率达 1.4&#215； 10 -7rad，长期稳定性偏差为 4.8&#215； 10 -7rad。该方法可满足纳米机械的测角要求。

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