作者： 单位：北京自动测试技术研究所 出版：《电子测试》2000年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWDZC2000031240 DOC编号：DOCWDZC2000031249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统(MEMS)的迅速发展改变了设计者观察硅基微机械部件的方法。将这些结构同调整和处理电路、校准存储、与外界接口等结合起来的种种努力，现已到了收获季节。集成更多的片上功能已获得部分成功，显示这种想法的商业可行性。有趣的是，一些设计者已在致力于下一代集成硅传感器，使最新

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