作者：李建平,高晓光,朱敏慧 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2000年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2000030060 DOC编号：DOCCGJS2000030069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微结构气敏传感器由于其微型化、低功耗、易阵列化、易智能化、易批量生产等独特优点 ，受到国内外研究者的广泛重视 .本文分析膜片型微结构气敏传感器基本单元的热学行为 ，用有限元方法模拟计算多种不同电极结构的器件功耗及工作区温度分布 ，提出了进一步降低功耗改善工作区温度均匀性的途径和方法 ，并讨论了微结构气敏传感器设计中应着重考虑的问题 。

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